一、亂流式潔凈室

亂流式，即空氣由空調(diào)風(fēng)柜經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)的高效空氣過濾器進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)循環(huán)。氣流組織不是直線型運(yùn)動，而呈不規(guī)則的亂流或渦流狀態(tài)。此類氣流組織適用于潔凈度等級1，000-100，000級的實(shí)驗(yàn)室。

其優(yōu)點(diǎn)是：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本，潔凈室的擴(kuò)充比較容易，在某些特殊用途場所，通過室內(nèi)的超凈工作臺，提高潔凈室工作操作場所潔凈等級。缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子在室內(nèi)空間飄浮，不易排出，易污染生產(chǎn)中的產(chǎn)品。另外，若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再重新啟動，恢復(fù)到需求的潔凈度，往往須耗時一段自凈時間。

二、層流式潔凈室

層流式，即空氣氣流運(yùn)動成一均勻的直線形，空氣由覆蓋率100%的高效過濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)，此類氣流組織適用于潔凈室等級較高的凈化環(huán)境使用，一般應(yīng)用潔凈度等級為Class1-100。

再細(xì)分，層流式分為二種：1、水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁的回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡單，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。缺點(diǎn)：建造費(fèi)用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。

2、垂直層流式：房間天花板完全以超高效過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可獲得較高的潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外，而不會影響其它工作區(qū)域。優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。缺點(diǎn)：構(gòu)造費(fèi)用較高，彈性運(yùn)用空間困難，天花板的吊架相當(dāng)占空間，維修更換過濾器較麻煩。

3、復(fù)合式：復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈的空氣。包括以下三種形式的復(fù)合氣流潔凈空間：

①潔凈隧道：以HEPA或ULPA過濾器將工作區(qū)域100%覆蓋，使該區(qū)域內(nèi)的潔凈度等級提高至10級以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此形式需將作業(yè)人員的工作區(qū)與產(chǎn)品機(jī)器維修區(qū)予以物理隔離，以避免機(jī)器維修時影響了生產(chǎn)工作及品質(zhì)，潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：彈性擴(kuò)充容易；維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

②潔凈管道：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并進(jìn)行空氣凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量的送風(fēng)即可得到良好的潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化生產(chǎn)線為最適宜使用，藥品、食品及半導(dǎo)體微電子制造業(yè)均適用。

③并裝局部潔凈室：將潔凈室等級10，000~100，000的亂流潔凈室內(nèi)局部產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上，作為生產(chǎn)用途；例如潔凈工作臺、潔凈工作棚即屬此類。