潔凈室室內靜壓差的測試程序

1、準備程序

儀器設備及環(huán)境測量儀器，可以選擇微壓計、數字微壓計等，在環(huán)境溫度常溫或潔凈室設計溫度下進行壓差檢測。

2、靜壓差檢測區(qū)域

抽樣對有設計要求的各個相鄰區(qū)域，不同等級潔凈區(qū)或潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)，實施檢測。

3、靜壓差檢測結果規(guī)定

（1）一般情況下，相鄰不同級別潔凈室之間、潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應不小于5Pa。

（2）潔凈室室內與室外大氣的靜壓差應大于10Pa。

（3）潔凈度高于100級的單向流層流潔凈室，在開門狀態(tài)下在出入口處室內側0.6m處，不應測出超過室內級別上限的濃度。

4、操作程序及判定

（1）將所有的門關閉，將測定用膠管口徑最好在5mm以下，從墻壁上的孔洞伸入室內離壁面不遠處，垂直于氣流方向設置周圍無阻擋氣流擾動最小。

（2）靜壓差的測定，應從平面上最里面的房間，通常也就是潔凈度級別最高的房間，與其緊鄰的房間之間的壓差測起，依次向外測定，直至測得最靠外的潔凈室與周圍附屬環(huán)境之間、與室外環(huán)境之間的壓差。

（3）對于潔凈度高于100級的單向流層流潔凈室，還應測定在門開啟狀態(tài)下離門口0.6m處的室內側工作面高度的粒子數。

5、檢測時的注意事項

在進行潔凈室靜壓差檢測之前，必須先驗證在潔凈室或潔凈設施正常工作時，應該關閉的門全部關閉條件下，潔凈室室內送風量與回風量、排風量是否與規(guī)定設計風量相符。若達不到標準的要求，則重新調整新風量、排風量直至符合設計要求為止。