潔凈室室內(nèi)靜壓差的測(cè)試程序
1、準(zhǔn)備程序
儀器設(shè)備及環(huán)境測(cè)量?jī)x器,可以選擇微壓計(jì)、數(shù)字微壓計(jì)等,在環(huán)境溫度常溫或潔凈室設(shè)計(jì)溫度下進(jìn)行壓差檢測(cè)。
2、靜壓差檢測(cè)區(qū)域
抽樣對(duì)有設(shè)計(jì)要求的各個(gè)相鄰區(qū)域,不同等級(jí)潔凈區(qū)或潔凈區(qū)與非潔凈區(qū),實(shí)施檢測(cè)。
3、靜壓差檢測(cè)結(jié)果規(guī)定
(1)一般情況下,相鄰不同級(jí)別潔凈室之間、潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應(yīng)不小于5Pa。
(2)潔凈室室內(nèi)與室外大氣的靜壓差應(yīng)大于10Pa。
(3)潔凈度高于100級(jí)的單向流層流潔凈室,在開(kāi)門狀態(tài)下在出入口處室內(nèi)側(cè)0.6m處,不應(yīng)測(cè)出超過(guò)室內(nèi)級(jí)別上限的濃度。
4、操作程序及判定
(1)將所有的門關(guān)閉,將測(cè)定用膠管口徑最好在5mm以下,從墻壁上的孔洞伸入室內(nèi)離壁面不遠(yuǎn)處,垂直于氣流方向設(shè)置周圍無(wú)阻擋氣流擾動(dòng)最小。
(2)靜壓差的測(cè)定,應(yīng)從平面上最里面的房間,通常也就是潔凈度級(jí)別最高的房間,與其緊鄰的房間之間的壓差測(cè)起,依次向外測(cè)定,直至測(cè)得最靠外的潔凈室與周圍附屬環(huán)境之間、與室外環(huán)境之間的壓差。
(3)對(duì)于潔凈度高于100級(jí)的單向流層流潔凈室,還應(yīng)測(cè)定在門開(kāi)啟狀態(tài)下離門口0.6m處的室內(nèi)側(cè)工作面高度的粒子數(shù)。
5、檢測(cè)時(shí)的注意事項(xiàng)
在進(jìn)行潔凈室靜壓差檢測(cè)之前,必須先驗(yàn)證在潔凈室或潔凈設(shè)施正常工作時(shí),應(yīng)該關(guān)閉的門全部關(guān)閉條件下,潔凈室室內(nèi)送風(fēng)量與回風(fēng)量、排風(fēng)量是否與規(guī)定設(shè)計(jì)風(fēng)量相符。若達(dá)不到標(biāo)準(zhǔn)的要求,則重新調(diào)整新風(fēng)量、排風(fēng)量直至符合設(shè)計(jì)要求為止。